產品描述
用於半導體製程:專門用於ICP 相關的製程或測試,如缺陷分析儀。
精確流體/氣體控制:負責精確地將測試所需的化學試劑、清潔液或反應氣體導入目標區域。
高要求:零件需具備極高的精度加工加工精度、潔淨度和耐化學腐蝕性。
材質穩定性:通常採用高純度、耐電漿或耐腐蝕的特殊材料。
測試應用:可能作為測試探針或介面的㇐部分,用於探測、注入或取樣晶圓表面的材料特性或製程殘留物。
精確流體/氣體控制:負責精確地將測試所需的化學試劑、清潔液或反應氣體導入目標區域。
高要求:零件需具備極高的精度加工加工精度、潔淨度和耐化學腐蝕性。
材質穩定性:通常採用高純度、耐電漿或耐腐蝕的特殊材料。
測試應用:可能作為測試探針或介面的㇐部分,用於探測、注入或取樣晶圓表面的材料特性或製程殘留物。